掃描電子顯微鏡（單檢測(cè)器，三軸手動(dòng)）掃描電鏡-文件檢驗(yàn)技術(shù)鑒定儀器
分辨率：30x ～ 60,000x
放大倍數(shù)：30x ～ 60,000x
加速電壓 : 5~30kV (5/10/15/20/30 - 5step)
Detector 檢測(cè)器: 二次電子圖像(SE) 背散射檢測(cè)器(BSE)
觀察模式: Standard Mode
電子槍: 預(yù)對(duì)中鎢燈絲、自動(dòng)偏壓方式
透鏡系統(tǒng): Two-stage Elecromagnetic、One-stage Elecromagnetic
探測(cè)器類型: E-T Detector(SEI)
Stage Traverse: 5-axis System
圖像移位距離：X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°、Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
樣品尺寸: 70mm/ 30mm
圖像幀掃描: 預(yù)覽模式High Speed Mode (320*240)
Low Speed Mode (640*480)
Photo Mode1 (1280*960)
Photo Mode2 (2560*1920)
Photo Mode3 (5120*3840)
光斑模式: Position Selectable 位置可選
自動(dòng)功能: Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator
圖像存儲(chǔ)格式: BMP, JPEG, PNG, TIFF
數(shù)據(jù)顯示: Magnification, Detector, Voltage, Vacuum mode, Logo(text),
真空系統(tǒng): Full Automation / High Vacuum mode ; 抽真空時(shí)間(pump down time)：2分鐘以內(nèi)(less than 2 minutes)
操控系統(tǒng): Mouse and keyboard （支持鍵盤快捷鍵）
控制系統(tǒng): SEM Control PC (Desktop or Notebook)
OS : Microsoft Window 7, CPU : Intel CoreTM
Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version
Monitor(LED) : 22inch
軟件: 長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能
: 多種圖像的拍攝信息，視頻信息，數(shù)據(jù)顯示編輯功能
: 設(shè)置參數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換存檔, 設(shè)置(EDS)模式等
: 對(duì)保存的圖像打開，亮度和對(duì)比度校正，以及測(cè)量功能
尺寸: 390(W)×380(D)×560(H)mm (88kg)
安裝環(huán)境: 溫度 Room temperature - 15℃~30℃
: 濕度，Humidity - 70% or less
: 電源，Electric power - Single phase 200~240V AC, 1KW, 50/60Hz